Silikon karbür (sic), yüksek performanslı bir gelişmiş seramik malzeme olarak, mükemmel fiziksel ve kimyasal özellikleri (yüksek sertlik, yüksek sıcaklık direnci, korozyon direnci, yüksek termal iletkenlik ve düşük termal iletkenlik, yüksek termal iletkenlik ve düşük termal genişleme katsayısı) . Silison karbür plakalarının ve detaylı analizlerinin beş çekirdek uygulamasıdır;
Yarıiletken üretimi ve elektronik endüstrisi
Silikon karbür plakaları, esas olarak gofret üretim ekipmanının anahtar bileşenleri için yarı iletken alanında, ETCHER . 'ın ısıtıcı ve elektrostatik mandren (ESC) gibi anahtar bileşenleri için kullanılır.
Yüksek sıcaklık direnci ve plazma korozyon direnci: SIC, yarı iletken işlemlerde 1600 dereceye kadar sıcaklıklara ve yüksek oranda aşındırıcı gazlara (flor plazma gibi) dayanabilir ve ömrü geleneksel kuvars veya alüminyumunkini çok aşar .
Yüksek Saflık ve Düşük Kirlilik: Kimyasal inertlik, gofret üretim sürecinde üçüncü nesil yarı iletkenlerin (GaN ve Sic yongaları gibi) üretimi için uygun metal kirliliği olmamasını sağlar .
Termal Yönetim Avantajları: Yüksek termal iletkenlik (120-270 w/m · k) ısıyı eşit olarak dağıtabilir ve çip verimini iyileştirebilir .
Yüksek sıcaklıklı endüstriyel fırınlar ve ısıl işlem
Silikon karbür plakaları, fırınlar, raylar ve alev geçirmez plakalar için ideal malzemelerdir ve seramik sinterleme, çelik ısıl işlem ve güneş pili üretiminde yaygın olarak kullanılır .
Uzun süreli stabilite: 1400-1600 derecesinde atmosferlerin oksitlenmesi veya azaltılmasında deforme olması kolay değil ve hizmet ömrü geleneksel refrakter malzemelerin 5 katından fazla ulaşabilir .
Enerji tasarrufu Etkisi: Yüksek termal iletkenlik ısı transferini hızlandırır ve enerji tüketimini azaltır; Düşük termal genleşme katsayısı (4 . 0 × 10⁻⁶/ derece) termal şok çatlamasını önler.
Uygulama Senaryoları: Örneğin, fotovoltaik endüstrideki polikristalin silikon ingot fırınları, erimiş silikon korozyonuna dayanmak ve boyutsal doğruluğu korumak için sic plakaları gerektirir .
Kimyasal ve korozyon karşıtı ekipman
Kimya endüstrisinde,silikon karbür plakalarıgüçlü asitler (sülfürik asit, hidroflorik asit), güçlü alkali ve yüksek sıcaklık ve yüksek basınçlı ortamlar ile başa çıkmak için reaktör astarları, borular ve contalar için kullanılır .
Kimyasal İnertlik: SIC, paslanmaz çelik ve hastelloy . 'dan daha iyi olan 0-14 pH aralığında neredeyse reaktif değildir.
Mekanik Güç: Bükme mukavemeti, reaktörün mekanik etkisine dayanabilen 400-600 MPa'ya ulaşır .
Havacılık ve yüksek sıcaklık yapısal parçalar
Silikon karbür plakaları, havacılıkta roket nozullarında, ısı kalkanlarında ve gaz türbini bıçaklarında kullanılır .
Ultra yüksek sıcaklık performansı: Hala 2000 derecesinde gücü korur ve erime noktası 2700 dereceye kadar yüksektir, bu da süpersonik uçağın ön kenarı için uygundur .
Hafif: Yoğunluk (3 . 1 g/cm³), yükü azaltan tungsten alaşımından daha düşüktür.
Yeni Enerji ve Çevre Koruma Teknolojisi
Yeni enerji alanında, fotovoltaik, nükleer enerji ve atık gaz tedavisinde silikon karbür plakaları kullanılır:
Fotovoltaik Endüstri: Silikon malzeme yapışmasını azaltmak için polisilikon büyüme fırınları için pota bir kaplama olarak, yüksek sıcaklık baca gaz tozu çıkarma (atık yakma bitkileri gibi) için SIC seramik filtreleri kullanılır .
Nükleer reaktörler: SIC nötron emme plakaları nükleer fisyon oranını kontrol edebilir ve bunların radyasyon direnci grafitten daha iyidir .
Hidrojen Enerjisi: Su elektrolizi ile hidrojen üretimi için proton değişim membranında (PEM), SIC plakaları aside dirençlidir ve mükemmel iletkenliğe sahiptir .
SIC hazırlık teknolojisinin (reaktif sinterleme ve CVD gibi) ilerlemesi ile maliyeti kademeli olarak azalır ve uygulama alanları, kuantum bilgi işlem ve silikon karbür plakaları gibi en son alanlara genişletilecektir.